产品参数含量≥：99.999%产品等级：工业级执行质量标准：不限CAS：CF4产品特点四氟化碳（CF4)项目名称纯度指标（%）四氟化碳≥99.999杂质含量（ppm)氧气（O2）≤5水（H2O）≤2氮气（N2)≤2*（CO2)≤1*（CO）≤1碳氢化合物（）≤1包装：采用47L、44L钢瓶充装，也可根据客户需要，分装到8L的气瓶中。
用途：四氟化碳是目前微电子工业中用量*的等离子蚀刻气体,其高纯气及四氟化碳高纯气配高纯氧气的混合气,可广泛应用于硅、二氧化硅、氮化硅、磷硅玻璃及钨等薄膜材料的蚀刻，在电子器件表面清洗、太阳能电池的生产、激光技术、气相绝缘、低温制冷、泄漏检验剂、控制*火箭姿态、印刷电路生产中的去污剂等方面也大量使用。
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