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防水纳米液真空镀膜技术的特点,真空镀膜技术主要有真空蒸发镀、真空溅射镀、真空离子镀、真空束流沉积、化学气相沉积等多种方法。
除化学气相沉积法外,其他几种方法均具有以下的共同特点:(1)各种镀膜技术都需要一个特定的真空环境,制膜材料在加热蒸发或溅射过程中所形成蒸气分子的运动,不致受到大气中大量气体分子的碰撞、阻挡和干扰,并*大气中杂质的不良影响。
对于溅射类镀膜,可以简单理解为利用电子或高能激光轰击靶材,并使表面组分以原子团或离子形式被溅射出来,并且终沉积在基片表面,纳米镀膜,经历成膜过程,终形成薄膜。
溅射镀膜又分为很多种,总体看,镜头纳米镀膜,与蒸发镀膜的不同点在于溅射速率将成为主要参数之一。
溅射镀膜中的激光溅射镀膜pld,组分均匀性容易保持,而原子尺度的厚度均匀性相对较差(因为是脉冲溅射),液态纳米镀膜,晶向(外沿)生长的控制也比较一般。
以pld为例,因素主要有:靶材与基片的晶格匹配程度、镀膜氛围(低压气体氛围)、基片温度、激光器功率、脉冲频率、溅射时间。
晶格有序度的均匀性:这决定了薄膜是单晶,多晶,非晶,是真空镀膜技术中的热点问题,具体见下。
主要分类有两个大种类:蒸发沉积镀膜和溅射沉积镀膜,具体则包括很多种类,包括真空离子蒸发,磁控溅射,MBE分子束外延,溶胶凝胶法等等一、对于蒸发镀膜:一般是加热靶材使表面组分以原子团或离子形式被蒸发出来,并且沉降在基片表面,通过成膜过程(散点-岛状结构-迷走结构-层状生长)形成薄膜。
厚度均匀性主要取决于:1、基片材料与靶材的晶格匹配程度2、基片表面温度3、蒸发功率,速率4、真空度5、镀膜时间,厚度大小。
组分均匀性:蒸发镀膜组分均匀性不是很容易保证,具体可以调控的因素同上,家具纳米镀膜,但是由于原理所限,对于非单一组分镀膜,蒸发镀膜的组分均匀性不好。
晶向均匀性:1、晶格匹配度2、基片温度3、蒸发速率家具纳米镀膜-拉奇纳米-纳米镀膜由东莞拉奇纳米科技有限公司提供。
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