OC负型光阻剂Brthrper-751ATP、ITO黄光制程用绝缘保护负型光刻胶一款*于TP行业OGS高温镀膜后绝缘搭桥保护的可显影高精度负型光阻剂。
1.材料组分Brthrper-751A耐高温高分子树脂高显影型丙烯酸低聚物齐化交联树脂聚氨酯-丙烯酸交联剂光引发剂自由基型光化合物助剂流平剂、附着力促进剂、消泡剂等溶剂PGMEA、PM、EEP2.黄光工艺Brthrper-751ACoatingSlitorspinDryingVCD(30-70pa)Pre-BakeTemp:110-120℃,Time:120secExpEnergy:200-300mj/cm2(i-Line),gap:200umDevelopement0.045%KOH,Time:50-60sec,Temp:25℃CureTemp:230-240℃，Time:30min3.材料特性Brthrper-751A外观及特征固含量22%±0.5粘度5.5cp±0.1外观微黄色透明液体比重0.96黄光工艺后特性膜存率88%（后烘膜厚/显影膜厚）透过率（400nm，2um）99%折射率（550nm）1.54表面电阻>1014Ω/□表面硬度（铅笔硬度计750g，三菱铅笔）4H附着Onglass5BOnITO5BOnMAM5B爬坡角度（Profile）