非接触高精度电容式位移传感器MicroSense5美国位移传感器基于电容式感技术*，MicroSenseProbe电容式位移传感器提供高准确度，高带宽测量精度电容式位移传感器设备，为满足客户高准确度的应用要求,MicroSense优化传感器的操作性能以达到高稳定性和线性方案、高分辨率、高带宽测量方案，用于测量硬盘驱动马达，气动轴承转子，X-Y样品台*度，光盘，汽车零部件和机床等测量。
产品详细信息精密电容式位移传感器非接触式高分辨率近距离位移测量MicroSense公司（前身是ADETechnologies,KLA_TENCOR的子公司）开创了高辨率电容式位移传感器的先河，致力于为客户提供以艺术级别性能的高精度非接触式微位移传感器。
MicroSenseProbe电容式位移传感器特性1.完全非接触式电容式微位移测量—**准确的电子感应技术,无损样品测量2.*化的近距离测量—测量距离在10微米到5毫米3.高准确性，高灵敏性测量，*精度可达0.5nm。
4.可探测任何可传导性、接地的测量目标—表面是否抛光以及材质对测量准确度无任何影响5.用途广泛:金属薄片厚度测量,振动测量,工作台垂直度(Straighness)和平坦度(flatness)测量,精密马达转轴偏振测量(Axial,Radial,Spindlerunout),精密仪器工作平台定位，设备自动聚焦测量(微影设备，原子力显微镜，光罩探测，图像确认，LCD生产设备…)测量表（Gauge）型号5800系列以高动态测量著称--高分辨率测量，可达100Khz带宽测量，可靠性测量甚至达触地物例如气动转子和马达测量探头(Probe)形状。
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