当废气进入等离子光解一体机净化设备内时，先经过等离子体化学反应过程，即电子首先从电场获得能量，通过激发或电离将能量转移到分子或原子中去，获得能量的分子或原子被激发，同时有部分分子被电离，从而成为活性基团；之后这些活性基团与分子或原子、活性基团与活性基团之间相互碰撞后生成稳定产物和热。
(在外加电场的作用下，介质放电产生的大量携能电子轰击污染物分子，使其电离、解离和激发，然后便引发了一系列复杂的物理、化学反应，使复杂大分子污染物转变为简单小分子物质，或使有害物质转变成无害或低害的物质，从而使污染物得以降解去除。
)然后部分有机废气再通过破坏、分解、催化氧化把污染气体分解为无害无味气体。
采用高能C波段光线强裂污染气体分子链，改变物质分子结构，将高分子污染物质裂解、氧化成为低分子无害物质，如水O3强催化氧化剂进行废气催化氧化,可有效地菌，将有害物质破坏且改变成为低分子无害物质。
在C波段激光刺激催化剂涂层产生活性，强化催化氧化作用。
在分解过程中产生高能高臭氧UV紫外线光束分解空气中的氧分子产生游离氧，即活性氧，因游离氧所携正负电子不平衡所以需与氧分子结合，进而产生臭氧。
UV+O2→O-+O*(活性氧)O+O2→O3(臭氧),众所周知臭氧对有机物具有*的氧化作用，对恶臭气体及其它刺激性异味有*的除效果。
O3也为强催化氧化剂进行废气催化氧化,裂解恶臭气体中的分子键，破坏的核酸（DNA），再通过臭氧进行氧化反应，*达到脱臭及菌的目的。
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