非晶硅电池一般采用PECVD(PlasmaEnhancedChemicalVaporDe*ition--等离子增强型化学气相沉积)方法使高纯*等气体分解沉积而成的。
此种制作工艺，可以在生产中连续在多个真空沉积室完成，以实现大批量生产。
由于沉积分解温度低，可在玻璃、不锈钢板、陶瓷板、柔性塑料片上沉积薄膜，易于大面积化生产，成本较低。
在玻璃衬底上制备的非晶硅基太阳能电池的结构为:Glass/TCO/p-a-SiC:H/i-a-Si:H/n-a-Si:H/Al，在不锈钢衬底上制备的非晶硅基太阳能电池的结构为:SS/ZnO/n-a-Si:H/i-a-Si(Ge):H/p-na-Si:H/ITO/Al。
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