Ce*otherm快速退火炉-c.RAPID150一、产品简介德国CENtrotherm公司是国际主流的半导体设备供应商，尤其在高温设备领域。
 c.RAPID150是一款高性能、多用途的快速退火设备，主要用于满足研发和小规模量产所需的多种工艺要求。
测温系统适用于从室温至高温的广泛区间。
优化的多区温控系统结合可以独立控制的加热灯，提供了出色的控温精度和控温重复性。
此款设备配置手动装载系统，适用于研发以及小型的量产。
成熟的真空操作和气体管理系统为多种应用提供了可控的气体环境。
出色的性能和高度的灵活性，结合小的占地面积，低的客户拥有成本，使c.RAPID150成为一款佳的手动RTP设备。
二、典型应用l 退火：一般退火、接触层退火、源/漏退火、势垒金属退火l 硅化l 氧化l 掺杂活化三、产品特性l 可在常压或者真空（控压）下工作l 高度灵活性：适用于*6寸的硅片或者可放置基片的6寸托盘l 升温速率约150K/sl 出色的温度均匀性l确的环境控制l 高的设备可靠性l 可以并排安装四、设备参数    详情电议标签：快速退火...氧化c.RA...德国Ce...多用途的... 快速退火炉氧化c.RAPID150德国Centrother多用途的快速退火硅化RTP设备性能和高度的灵活性适用于研发以及小型的量产成熟的真空操作和气体管理掺杂活化退火 北京市快速退火炉 北京市快速退火炉厂家北京市北京市[快速退火炉 氧化 c.RAPID150 德国Ceother 多用途的快速退火 硅化 RTP设备 性能和高度的灵活性 适用于研发以及小型的量产 成熟的真空操作和气体管理 掺杂活化 退火] 北京市快速退火炉厂家Activator150SiCCentrotherm快速退火快速退火炉-RAPID150