双靶磁控溅射镀膜系统设备用途：用于纳米级单层及多层功能膜、硬质膜、金属膜、半导体膜、介质膜等新型薄膜材料的制备。
可广泛应用于大专院校、科研院所的薄膜材料的科研与小批量制备。
同时设备具有反溅射清洗功能，以提高膜的质量和牢固度。
设备组成系统主要由溅射真空室、永磁磁控溅射靶（2个靶）、单基片加热台、直流电源、射频电源、工作气路、抽气系统、真空测量、电控系统及安装机台等部分组成。
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磁控溅射镀膜设备是目*种镀膜产品，相比传统的水电镀来讲，磁控溅射镀膜设备无毒性，能够掩盖，弥补多种水电镀的缺陷。
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主要用途：用于纳米级单层及多层功能膜、硬质膜、金属膜、半导体膜、介质膜等新型薄膜材料的制备。
广泛应用于大专院校、科研院所的薄膜材料科研与小批量制备。
系统组成:主要由真空室系统溅射室、靶及电源系统、样品台系统、真空抽气及测量系统、气路系统、控制系统、电控系统、计算机控制系统及辅助系统等组成。
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