光氧催化法利用高能高臭氧UV紫外线光束照射废气，裂解工业废气如：氨、*胺、*、甲硫氢、*、*、*丁酯、*乙酯、*、*和*，硫化物H2S、VOC类，苯、*、二*的分子链结构，使有机或无机高分子恶臭化合物分子链，在高能紫外线光束照射下，降解转变成低分子化合物，如CO2、H2O等。
利用高能高臭氧UV紫外线光束分解空气中的氧分子产生游离氧，即活性氧，因游离氧所携正负电子不平衡所以需与氧分子结合，进而产生臭氧。
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