球面行星传动工件架常用在蒸发镀膜设备中。
dmp－450型镀膜机的球面行星工件架结构。
球面夹具是员圆园毅均布的，一台镀膜机上有三个夹具，上面的孔根据被镀零件需要而开设。
其工作原理如图源鄄圆所示，五金卫浴金属表面镀膜设备价格，三个球面圆盘均布在一个球面上，蒸发源可置放于球心或周面上。
它的优点是：（1）基片架的有效面积较大，承载的基片数多，工作效率高。
（2）膜层均匀。
从理论分析中可知，球面上任意一点孕的膜厚只与球面半径砸有关，再加上公转和自转，可得到厚度均匀的薄膜。
（3）没有台阶效应的影响。
这是因为基片架的转动本基片台阶处如图源鄄圆中的葬、遭各点，金属表面镀膜设备，都有相同的机会接受来自蒸发源的材料蒸气分子。
镀膜室的结构应便于加工制造和内部构件的组装，工作时应便于操作，且应具有良好的刚度稳定性（特别是在热态工作条件下）。
目前，除了一些小型镀膜设备采用钟罩式镀膜室结构外，大多数镀膜设备采用圆筒形或矩形的金属焊接结构的镀膜室。
由于镀膜室为承受外压的容器，对于不带冷却水套的镀膜室，五金卫浴金属表面镀膜设备工厂，其内外压差的*值相当于大气压，即受外部压力为员园员猿圆缘孕葬。
从受压力的角度看，真空室以圆形为好；从容积利用率的角度出发，真空室以箱形为宜；根据需要也有设计成其他各种形状的，如球形、长圆形、圆锥形等。
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