高纯度计量泵手动和步进控制分配泵电子计量泵PEM050电子步进泵可在PTFE流体路径中**分配1-50毫升腐蚀性介质，用于化学补充、混合、计量和加料应用。
这些可靠的泵具有完全支撑的滚动隔膜，可**限度地提高排放压力能力。
正控制阀通过消除止回阀常见的可变性来确保准确性。
它们提供**多5个排放端口，可通过可编程系统逻辑独立控制。
电子控制可调行程分配量高达50毫升高精度；重复性±0.01%60–80psi能力可编程系统逻辑2至6端口可配置PEM050规格表气动泵PPM100气动计量泵可在PTFE流体路径中**分配高达100毫升的高纯度化学品。
它采用全支撑滚动隔膜操作，以**程度地提高排放压力能力。
两个正控制阀通过消除止回阀常见的可变性来确保准确性。
手动控制可调行程分配量高达100ml高精度；重复性±0.1%60–85psi能力PPM100规格表用户手册**炸视图CAD模型订购说明请求报价查找经销商PEM操作概述WhiteKnight计量泵提供可调节的流量，可用于单晶圆处理工具或预混容器，以确保**的化学混合物，并允许直接在头部进行现场混合。
这些泵可**分配高纯度化学品，用于补充、混合、计量和加料应用，以及清洁CVD设备和光刻。
它们是光刻胶、蚀刻和清洁工艺、食人鱼混合物中的过氧化物加料以及在引入基材之前将化学混合物混合到工艺罐中的理想选择。
特点与优势完全可调的冲程速度安全、无泄漏运行，无需维护无暴露的金属，可防止腐蚀和污染PTFE全覆盖流体路径，适用于超纯应用PTFE滚动隔膜，带PP外壳可轻松设置和监控的视觉位置参考采用卡入式/卡出式安装，易于安装和维护可任意方向安装洁净室组装、测试和包装泄漏检测端口自吸式紧凑的尺寸**小滞留量正入口/出口阀门可防止液体流过规格PEM050PPM100分配范围每冲程1-50毫升每次冲程10-100毫升分配重复性±0.01%（满量程）±0.1%（满量程）每分钟循环次数**可达6CPM**可达12CPM每循环空气消耗量SCF1-3标准立方英尺/分钟0.038-0.048标准立方英尺/分钟流体路径材料聚四氟乙烯聚四氟乙烯阀门驱动气压4.14-5.52巴（60-80磅/平方英寸）4.14-5.86巴（60-85磅/平方英寸）**排气压力3.8巴（55磅/平方英寸）5.86巴（85磅/平方英寸）温度能力**100°C(212°F)**100°C(212°F)重量2.95千克（6.5磅）1.6千克（3.5磅）吸程*4.6米（15英尺）4.6米（15英尺）沟通串行、以太网或数字（0-5V、0-10V、4-20mA）-泄漏检测选项阀门位置传感阀门位置传感PEM050PPM100*吸力随时间减小。
建议安装高度低于源头上方4.6米（15英尺）。
优化的参数可以提高重复性（高达±0.01%）。
尽量减少吸力以**程度地提高重复性。
测试在环境温度下用水进行。
分配范围在全行程测量，**和**小供应压力分别为80psi和60psi。
详情请联系WhiteKnight。
方面PEM050PPM100“A”“B”PEM050-022.7（69）11.0（279）PEM050-034.2（107）12.5（318）PEM050-044.2（107）12.5（318）PEM050-055.7（145）14.0（356）PEM050-065.7（145）14.0（356）