产品参数产品等级：工业级含量≥：1型号：YOF状态：液体粒度：可选执行质量标准：JIS品牌： 厂家(产地)产品特点作为半导体制造设备内部的保护性涂层，半导体干蚀设备内部暴于高反应性卤素或氧系电浆。
若非耐电浆材料元件(如，石英玻璃、氧化铝和阳**化的铝)以原本状态使用，则会发生表面腐蚀而伴随着生成粒子，其造成半导体上之微观电路的缺陷。
因此，于半导体制造设备之待外露的表面提供用以赋予抵御电浆的耐蚀性和保护设备之元件的保护性涂层。
此保护性涂层之一是对于种类繁多的电浆展现耐蚀性的氟氧化钇。
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