不燃，无色无味无臭气体。
用于焊接、不锈钢制造、冶铁，还用于半导体制造工艺中的化学气相淀积、晶体生长、热氧化、外延、扩散、多晶硅、钨化、离子注入、载流、炼结等。
用作标准气、平衡气、零点气等气等。
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