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刻蚀Mo—刻蚀钼侧壁85度的各向异性刻蚀200纳米钼结果:•速率:钼30-120纳米/分钟•外形:各向异性(倾斜角80-87度)•均匀性:公差+5%•对光刻胶的选择比1:1标签: 北京市刻蚀mo刻蚀钼 北京市刻蚀mo刻蚀钼厂家北京市北京市北京市刻蚀mo刻蚀钼厂家供应刻蚀Mo刻蚀钼
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