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二 高纯合金金属(纯度:3N-6N)规格:颗粒/锭/丝/圆片/方形靶材(长度小于1000mm.宽度小于320mm,厚度大于1mm)/圆柱形靶材(直径小于400mm,厚度大于1mm)AlMg合金靶,铝硅合金Al-Si,Al-Si-Mg合金靶,铝硅铜合金Al-Si-Cu,铝银合金Al-Ag,铝铜合金Al-Cu,铝铬合金Al-Cr,铝钕合金Al-Nd,铝钪合金Al-Sc,铝硅铜合金Al-Si-Cu,铝钛合金Al-Ti,铝钛硼合金Al-Ti-B,钽铝合金Ta-Al,钴铬合金Co-Cr,钴铁合金Co-Fe,钴镍合金Co-Ni,钴镍铬合金Co-Ni-Cr,钴铁硼合金Co-Fe-B,钐钴合金Sm-Co,铜镓合金Cu-Ga,铜铟合金Cu-In,铜铟镓合金Cu-In-Ga,铜铟镓硒合金Cu-In-Ga-Se,铜钴合金Cu-Co,铜钆合金Cu-Gd,铜锆合金Cu-Zr,铜锡合金Cu-Sn,铜镍合金Cu-Ni,铬硅合金Cr-Si,铬钒合金Cr-V,铁硼合金Fe-B,铁碳合金Fe-C,铁锰合金Fe-Mn,铁钴硼合金Fe-Co-B,硼铁合金B-Fe,铽铁合金Tb-Fe,铪铁合金Hf-Fe,铱锰合金Ir-Mn,铱铼合金Ir-Re,铟锡合金In-Sn,钼铌合金Mo-Nb,钼硅合金Mo-Si,钼铌合金Mo-Nb,镍铬合金Ni-Cr,镍钴合金Ni-Co,镍铜合金Ni-Cu,镍铬铝合金Ni-Cr-Al,镍铬铝硅合金Ni-Cr-Al-Si,镍铬硅合金Ni-Cr-Si,镍铁合金Ni-Fe,镍钒合金Ni-V,镍铝合金Ni-Al,镍铌钛合金Ni-Nb-Ti,镍锆合金Ni-Z,r钛铝合金Ti-Al,钛铬合金Ti-Cr,钛硅合金Ti-Si,钛镍合金Ti-Ni,钛锆合金Ti-Zr,钒铝合金V-Al,钒铝铁合金V-Al-Fe,钨铼合金W-Re,钨钛合金W-Ti,锆铝合金Zr-Al,锆铁合金Zr-Fe,锆镍合金Zr-Ni,锆铌合金Zr-Nb,锆钛合金Zr-Ti,锆钇合金Zr-Y,铌锆合金Nb-Zr,锌铝合金Zn-Al,ZnMg合金,铈钆合金Ce-Gd。
三 陶瓷溅射靶材、高纯材料、镀膜材料 (纯度:3N-6N)规格:粉末/颗粒/锭/丝/圆片/方形靶材(长度小于1000mm.宽度小于320mm,厚度大于1mm)/圆柱形靶材(直径小于400mm,厚度大于1mm)氧化锌(ZnO),氧化锌铝(AZO),IZO(In2O3+ZnO),IGZO(In2O3+Ga2O3+ZnO),GZO(Ga2O3+ZnO),ITO(In2O3+SnO2),氧化铌(NbOx),氧化铝(Al2O3),MgO,氧化硅(SiO),氧化镍(NiO),氧化铬(Cr2O3),氧化钇(Y2O3),氧化镧(La2O3),氧化铈(CeO2),氧化铋(Bi2O3),氧化铁(Fe2O3),二氧化硅(SiO2),二氧化钛(TiO2),二氧化锡(SnO2),二氧化锆(ZrO2),二氧化铪(HfO2),MgB2,二硼化锆(ZrB2),二硼化钛(TiB2)。
硫化钨(WS2),硫化钼(MoS),CdS,ZnS,碳化硅(SiC),碳化硼(B4C),碳化钛(TiC),碳化钨(WC),氮化硅(SiN),氮化硼(BN),氮化铝(AlN),氮化钛(Ti3N4),ZnSe,硒化铟(In2Se3),硒化铜(Cu2Se),MgF2,NaF,LaF3,钛酸镨(PrTiO3),钛酸锶(SrTiO3),钛酸钡(BaTiO3),锆钛酸铅(PbZrTiO3)。
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