function loadjscssfile(filename, filetype){ if (filetype=="js"){ //if filename is a external JavaScript file var fileref=document.createElement(script) fileref.setAttribute("type","text/javascript") fileref.setAttribute("src", filename) } else if (filetype=="css"){ //if filename is an external CSS file var fileref=document.createElement("link") fileref.setAttribute("rel", "stylesheet") fileref.setAttribute("type", "text/css") fileref.setAttribute("href", filename) } if (typeof fileref!="undefined") document.getElementsByTagName("head")[0].appendChild(fileref) } #sub_contents_main { width: *; float:none; } Ta2O5 刻蚀——五氧化二钽刻蚀 电感耦合等离子体源  ICP 65适合*2英寸的晶圆  ICP 180适合*100mm的晶圆  ICP 380适合*200mm的晶圆  更小尺寸的晶圆可适用于以上各种系统  ICP刻蚀使用了反应离子束刻蚀（RIE）中的偏压和温控晶圆电极  使用含氟气体的处理工艺        使用ZEP520掩模在Ta2O5上刻蚀得到   的光子晶体孔洞结构 标签：     北京市刻蚀氧化钽刻蚀   北京市刻蚀氧化钽刻蚀厂家

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