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TJ衬底晶圆激光加工单晶硅微结构切割来图来样
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TJ衬底晶圆激光加工单晶硅微结构切割来图来样硅片切割机又名硅片激光切割机,激光划片机。
是激光划片机在电子行业硅基片的切割的又一新领域的应用。
激光划片是利用高能激光束照射在工件表面,使被照射区域局部熔化、气化、从而达到划片的目的。
因激光是经光学系统聚焦后成为一个非常小的光点,能量密度高,因其加工是非接触式的,对工件本身无机械冲压力,工件不易变形。
热影响**小,划精度高,应用于太阳能电池板、薄金属片的切割和划片。
硅片的分类:硅片规格有多种分类方法,可以按照硅片直径:4寸、6寸、12寸、3英寸、2英寸;单晶生长方法:单晶硅片、多晶硅片;掺杂类型:N型、P型等参量和用途来划分种类。
晶圆是制造IC的基本原料,而晶圆便是硅元素加以纯化,接着将这些纯硅制成长硅晶棒,成为制造积体电路的石英半导体的材料,再经过照相制版、研磨、抛光、切片等程序,将多晶硅融解后拉出单晶硅晶棒,然后切割成一片一片薄薄的晶圆。
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