产品参数品牌：超宝加工定制：是机器类型：加香机用途：家用原理：超声波产品特点某研究机构采用Hakuto离子蚀刻机10IBE对碲*汞晶体进行蚀刻,并研究碲*汞晶体蚀刻后的电学特性.Hakuto离子蚀刻机10IBE技术参数:基板尺寸<Ф8X1wfr样品台直接冷却（水冷）0-90度旋转离子源16cm考夫曼离子源均匀性±5%for4”Ф硅片刻蚀率20nm/min温度650mA离子动能100-1200V栅**直径16cmΦ离子束聚焦,平行,散射流量2-30sccm通气Ar,Kr,Xe,O2,N2,H2,其他典型压力<0.5mTorr中和器灯丝Hakuto离子刻蚀机10IBE真空腔采用Pfeiffer涡轮分子泵Hipace700,可抽的真空度<1·10-7hpa,良好的保持真空腔的真空度.试验利用迁移率谱分析了离子束刻蚀后的碲*汞晶体,发现180μm的p型碲*汞晶体在刻蚀后完全转为n型,且由两个不同电学特性的电子层组成:低迁移率的表面电子层和高迁移率的体电子层.通过分析不同温度下的迁移率谱,表明表面电子层的迁移率不随温度而变化,而体电子层的迁移率随温度的变化与传统的n型碲*汞材料一致.不同厚度下的霍尔参数表明体电子层的电学性质均匀.另外,通过计算得到表面电子层的浓度要比体电子层高2—3个数量级.若您需要进一步的了解详细产品信息或讨论,请参考以下联络方式:上海伯东:罗先生台湾伯东:王小姐T:+86-21-5046-1322T:+886-3-567-9508ext161F:+86-21-5046-1490F:+886-3-567-0049M:+86152-0195-1076M:+886-939-653-958ec@hakuto-vacuum.cnec@hakuto.com.twwww.hakuto-china.cnwww.hakuto-vacuum.com.tw伯东版权所有,翻拷必究!产品实拍伯东企业（上海）有限公司高低温试验箱离子源制冷剂真空阀门公司简介伯东公司成立于1953年，*范围内有一千七百名员工。
伯东企业(上海)有限公司(www.hakuto-vacuum.cn)主要从事半导体设备、电子零部件加工、销售及相关服务工作，集团年营业额约为100亿*。
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