掌上真空探针台

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产品参数品牌：其他加工定制：否类型：其他种类：其他型号：KT-Z4019MRL4T 别名：探针台用途：半导体规格：150mmX80mmX32mm 产品特点一、掌上真空探针台的原理介绍：（1）一体式不锈钢腔体，手动调节探针，正面留有观察窗，反面留有透光孔。
（2）高低温配置，KT-Z4019MRL4T是一款便携式探针台，结构小巧，功能使用，成本较低，可以满足基本实验的要求。
（3）特别之处在于显微镜和探针台采用分体结构，使得探针部分能从整个探针台系统中独立出来，可以应用于辐照实验中，该探针台也可放置高低温箱中，用于芯片的三温测试。
（4）多探针结构可实现多路测试。
配合接地良好的铝制*盒，增加了抗干,扰,能力，其测试数据更加准确。
637862187380371355751.jpg 二、掌上真空探针台KT-Z4019MRL4T技术参数：真空腔体类型高温型室温到350℃ 高低温型室温到350℃ 室温到-196℃ 腔体材质 304不锈钢 6061铝合金可选腔体内尺寸 127mmX57mmX20mm 腔体外尺寸 150mmX80mmX32mm 腔体重量不锈钢材质约1.5KG 铝合金材质约0.5KG 腔体上视窗尺寸 Φ42mm（可选配凹视窗用于减少窗口和样品之间距离）腔体抽气口 KF16法兰（其余接口规格可转接）腔体真空测量口 KF16法兰（其余接口规格可转接）腔体进气口 6mm快拧或 6mm快插腔体冷却方式腔体水冷+上盖气冷腔体水冷接口腔体正压 ≤0.05MPa 腔体真空度机械泵≤5Pa （5分钟）分子泵≤5E-3Pa（30分钟）样品台样品台材质不锈钢银铜合金纯银块银铜合金纯银块样品台尺寸 26x26mm 样品台加热方式电阻加热电阻加热液氮制冷样品台-视窗距离 11mm（可选配凹视窗用于减少窗口和样品之间距离到6mm）样品台测温传感器 PT100型热电阻样品台温度室温到400℃ 室温到400℃ 室温到-196℃ 样品台测温误差 ±0.5℃ 样品台升温速率高温100℃/min 低温7℃/min 温控仪温度显示 7寸人机界面温控类型标准PID温控 +自整定温度分辨率 0.1℃ 温控精度 ±0.5℃ 温度信号输入类型 PT100 （可选K S B型热电偶）温控输出直流线性电源加热直流线性电源加热+液氮流速控制器辅助功能温度数据采集并导出实时温度曲线+历史温度曲线可扩展真空读数接口温控器尺寸 32cmX170cmX380cm 温控器重量约5.6KG 探针电信号接头配线转接 BNC接头 BNC三同轴接头 SMA 接头香蕉插头线长1.2米电学性能绝缘电阻 ≥4000MΩ 介质耐压 ≤200V 电流噪声 ≤10pA 探针数量 4探针（可扩展5探针）探针材质镀金钨针（其他材质可选）探针尖 10μm 手动探针移动平台 X轴移动行程 20mm ±10mm（需手动推动滑台） X轴控制精度 ≥500μm R轴移动行程 120° ±60°（需手动旋转探针杆） R轴控制精度 ≥500μm Z轴移动行程 2mm ±1mm Z轴控制精度 ≤50μm（需手动螺纹调节探针杆产品实拍标签：微型探针... 高温探针... 低温探针... 高低温探... 半导体探... 微型探针台高温探针台低温探针台高低温探针台半导体探针台晶圆探针台郑州市掌上真空探针台郑州市掌上真空探针台厂家