真空镀膜机械多功能表面处理设备真空离子蒸发镀膜机/磁控溅射镀膜机真空镀膜机主要指一类需要在较高真空度下进行的镀膜，具体包括很多种类，包括真空离子蒸发，磁控溅射，MBE分子束外延，PLD激光溅射沉积等很多种。
主要思路是分成蒸发和溅射两种。
使用控柜操作1.开水泵、气源。
2.开总电源。
3.开维持泵、真空计电源，真空计档位置V1位置，等待其值小于10后，再进入下一步操作。
约需5分钟。
4.开机械泵、予抽，开涡轮分子泵电源、启动，真空计开关换到V2位置，抽到小于2为止，约需20分钟。
5.观察涡轮分子泵读数到达250以后，关予抽，开前机和高阀继续抽真空，抽真空到达一定程度后才能开右边的高真空表头，观察真空度。
真空到达2×10-3以后才能开电子*电源。
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