高精度激光位移传感器是利用几何三角原理，通过测量传感器发射的激光光束，   被被测物体表面反射回来，在传感器内部的PSD（光敏位置器件）或线阵CCD上   的成像位置来计算目标物距离的系统。
  激光位移传感器主要用于短距离、高精度测量，其系统测量精度可达1um，    分辨率0.1um，满量程线性度0.1%。
激光位移传感器可对被测量物体的位置、    位移等变化实现非接触测量，其主要应用于检测物的位移、厚度、振动、距离、   直径等几何量的测量。
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