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  高精度激光位移传感器是利用几何三角原理,通过测量传感器发射的激光光束,       被被测物体表面反射回来,在传感器内部的PSD(光敏位置器件)或线阵CCD上       的成像位 置来计算目标物距离的系统。
    激光位移传感器主要用于短距离、高精度测量,其系统测量精度可达1um,         分辨率0.1um,满量程线性度0.1%。
激光位移传感器可对被测量物体的位置、         位移等变化实现非接触测量,其主要应用于检测物的位移、厚度、振动、距离、       直径等几何量的测量。
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