产品参数品牌：超宝加工定制：是机器类型：加香机用途：家用原理：超声波产品特点某光学器件制造商采用伯东Hakuto离子蚀刻机20IBE-J应用于光学器件精密加工,通过蚀刻工艺提高光学器件的聚酰亚胺薄膜的表面光洁度.Hakuto离子蚀刻机20IBE-J技术参数Φ4inchX12片基片尺寸Φ4inchX12片Φ5inchX10片Φ6inchX8片均匀性±5%硅片刻蚀率20nm/min样品台直接冷却,水冷离子源Φ20cm考夫曼离子源Hakuto离子刻蚀机20IBE-J的核心构件离子源采用的是伯东公司代理美国考夫曼博士创立的KRI考夫曼公司的射频离子源RFICP220伯东KRI射频离子源RFICP220技术参数:离子源型号RFICP220DischargeRFICP射频离子束流>800mA离子动能100-1200V栅**直径20cmΦ离子束聚焦,平行,散射流量10-40sccm通气Ar,Kr,Xe,O2,N2,H2,其他典型压力<0.5mTorr中和器LFN2000采用伯东Hakuto离子蚀刻机20IBE-J可以使PV、RMS分别为1.347μm和340nm的粗糙表面,通过蚀刻其粗糙度可降低至75nm和13nm;PV、RMS分别为61nm和8nm的表面,其粗糙度可降低至9nm和1nm.该刻蚀工艺能有效提高光学器件聚酰亚胺薄膜的表面光洁度.若您需要进一步的了解详细产品信息或讨论,请参考以下联络方式:上海伯东:罗先生台湾伯东:王小姐T:+86-21-5046-1322T:+886-3-567-9508ext161F:+86-21-5046-1490F:+886-3-567-0049M:+86152-0195-1076M:+886-939-653-958ec@hakuto-vacuum.cnec@hakuto.com.twwww.hakuto-china.cnwww.hakuto-vacuum.com.tw伯东版权所有,翻拷必究！产品实拍伯东企业（上海）有限公司高低温试验箱离子源制冷剂真空阀门公司简介伯东公司成立于1953年，*范围内有一千七百名员工。
伯东企业(上海)有限公司(www.hakuto-vacuum.cn)主要从事半导体设备、电子零部件加工、销售及相关服务工作，集团年营业额约为100亿*。
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